標準規格VAMAS形式のXPSデータに対応。
VAMASフォーマットのXPSデータに対応したテンプレートです。VAMASフォーマット [1,2] は、表面化学分析データの標準的なテキストベースのデータ交換フォーマットの一つで、 主にXPS(X線光電子分光法)やAES(オージェ電子分光法)などの電子分光法で使用されています。 SIMS(二次イオン質量分析法)などの試料表層の質量分析法にも対応可能。 その仕様は、国際規格ISO 14976:1998および日本産業規格JIS K0141:2000で規定されています。 国際標準化のVAMASプロジェクトで検討されたフォーマットであることからVAMASフォーマットと呼ばれ、 ISOフォーマットと呼ばれることもあります。また規格検討を主導したイギリスの国立物理学研究所（NPL）に由来してNPLフォーマットと呼ばれる場合もあります。 1998年にISOで承認され永い歴史をもつフォーマットであるため、市販の多くのXPSやAES装置におけるテキストベースでのデータ出力に利用されているが、次元数の多い複雑な構造を持つデータではなくシンプルな構造のデータの出力でよく用いられます。
- Dench, W.A., Hazell, L.B. and Seah, M.P. (1988), VAMAS Surface chemical analysis standard data transfer format with skeleton decoding programs. Surf. Interface Anal., 13: p. 63-122. https://doi.org/10.1002/sia.740130202
- 吉原 一紘 (2013), 表面化学分析における国際標準データフォーマットの概要とその利用, Journal of Surface Analysis, 19 巻, 3 号: p. 170-176. https://doi.org/10.1384/jsa.19.170
登録可能ファイル
XPS VAMASフォーマット
登録後のイメージ
入力フォーム
スペック
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| 用途 | XPS(VAMASフォーマット) |
| 実験装置の手法の名称 | XPS |
| ファイルを出力する実験装置の機種 | -- |
| ファイルのフォーマット | VAMAS |
| ファイルの拡張子 | vms |
| メタデータの抽出方式 | ファイル内容からのメタデータ抽出 |
| メタデータ抽出結果の標準メタへのマッピングの有無 | あり |
| メタデータを記述する略語を判読性に優れた専門用語に変換する作業の有無 | なし |
| メタデータのvariable構造の有無 | なし |
| 可視化の有無 | あり |
| 可視化の種類 | スペクトル |
| データ解析の有無 | なし |
| データ解析の特徴 | -- |
| データ登録方式 | インボイス |
| データ入出力方式 | １回のデータ登録操作で1ファイルから１タイルを生成 |
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