RDEテンプレート

XPS (ULVAC-PHI)

ULVAC-PHI社のXPSデータの蓄積・閲覧に対応したテンプレートです。 spe, pro の拡張子を持つULVAC-PHI社のバイナリーフォーマットに対応しています。 前者は表面スペクトルのデータ、後者は深さ方向分析(デプスプロファイル)のスペクトルデータです。 これらのファイルに保存された測定条件をデータ閲覧画面のメタ情報で確認することができます。

本テンプレートの他に、XPS用ピーク分離が可能な解析用テンプレートがあります。
参照: https://dxmt.mext.go.jp/rdetemplate/xps-peak-separation

 

 

登録可能ファイル

ULVAC-PHI社XPSのspe, pro, angファイル

登録後のイメージ
入力フォーム
スペック
項目 説明
用途 XPS
実験装置の手法の名称 XPS
ファイルを出力する実験装置の機種 ULVAC-PHI社XPS
ファイルのフォーマット アルバックファイ独自フォーマット
ファイルの拡張子 spe, pro, map
メタデータの抽出方式 ファイル内容からのメタデータ抽出
メタデータ抽出結果の標準メタへのマッピングの有無 あり
メタデータを記述する略語を判読性に優れた専門用語に変換する作業の有無 あり
メタデータのvariable構造の有無 あり
可視化の有無 あり
可視化の種類 スペクトル
データ解析の有無 なし
データ解析の特徴 --
データ登録方式 インボイス
データ入出力方式 1回のデータ登録操作で1ファイルから1タイルを生成,1回のデータ登録操作で複数ファイルから複数タイルを生成

フォームからのお申込み

本テンプレートを利用希望の方は、お問い合わせ時に
XPS_PHI 1.0 [NIMS_DTx009]
とお書きください