ULVAC-PHI社のXPSデータの蓄積・閲覧に対応したテンプレートです。 spe, pro の拡張子を持つULVAC-PHI社のバイナリーフォーマットに対応しています。 前者は表面スペクトルのデータ、後者は深さ方向分析（デプスプロファイル）のスペクトルデータです。 これらのファイルに保存された測定条件をデータ閲覧画面のメタ情報で確認することができます。
本テンプレートの他に、XPS用ピーク分離が可能な解析用テンプレートがあります。
参照: https://dxmt.mext.go.jp/rdetemplate/xps-peak-separation
登録可能ファイル
ULVAC-PHI社XPSのspe, pro, angファイル
登録後のイメージ
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スペック
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| 用途 | XPS |
| 実験装置の手法の名称 | XPS |
| ファイルを出力する実験装置の機種 | ULVAC-PHI社XPS |
| ファイルのフォーマット | アルバックファイ独自フォーマット |
| ファイルの拡張子 | spe, pro, map |
| メタデータの抽出方式 | ファイル内容からのメタデータ抽出 |
| メタデータ抽出結果の標準メタへのマッピングの有無 | あり |
| メタデータを記述する略語を判読性に優れた専門用語に変換する作業の有無 | あり |
| メタデータのvariable構造の有無 | あり |
| 可視化の有無 | あり |
| 可視化の種類 | スペクトル |
| データ解析の有無 | なし |
| データ解析の特徴 | -- |
| データ登録方式 | インボイス |
| データ入出力方式 | １回のデータ登録操作で1ファイルから１タイルを生成,１回のデータ登録操作で複数ファイルから複数タイルを生成 |
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XPS_PHI 1.0 [NIMS_DTx009]
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