RDEテンプレート

XPS (ULVAC-PHI)

ULVAC-PHI社のXPSデータに対応したテンプレートです。spe, proの拡張子に対応しています。

本テンプレートを利用希望の方は、お問い合わせ時に
XPS_PHI 1.0 [NIMS_DTx009]
とお書きください

登録可能ファイル

ULVAC-PHI社XPSのspe, pro, angファイル